SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业(hángyè)伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新(chuàngxīn)应用(yìngyòng)，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源将首发(shǒufā)推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节(huánjié)设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用(yòng)、便携灵活等(děng)特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺(gōngyì)提供稳定(wěndìng)前处理方案。 极简结构(jiégòu)，桌面级准分子实验新体验 由于(yóuyú)传统准分子光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级(jí)灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照(guāngzhào)射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本(shūběn)大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建(dājiàn)准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等(děng)多领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超(chāo)净化超微细清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将(jiāng)展出(zhǎnchū)多款172nm准分子系列光源(guāngyuán)与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴(huǒbàn)莅临参观(cānguān)交流，现场了解172nm准分子(zhǔnfènzǐ)光科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会(zhǎnlǎnhuì) 时间：2025年6月4-6日(rì) 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文(běnwén)来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多(duō)信息资讯，所涉内容不构成投资(tóuzī)、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）